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VCSEL晶圆手动点测平台
发布时间:2019年05月30日 19:23


产品介绍

设备用于半导体激光芯片制造相关行业,对垂直腔面发射的VCSEL晶圆进行基本的性能参数测试,主要包含LIV测试、光谱测试,可以全面的测量或演算出工作电流Io、输出光功率Po、斜率效率SE、串联电阻Rs、阈值电流Ith、中心波长λc、光谱宽度Δλ等参数。设备也可以用于传输线法TLM测试,实现一机多用。
 
特点
-功能模块化设计,按需选配
-手动控制,单颗点测,装载简单
-二线法/四线法测量
-测量精度高,性能稳定
-自动完成测试过程并打印报告

应用
VCSEL晶圆上单个芯片的性能点测